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光網絡用的各種光纖技術現狀分析(4)
2008-04-21   IT168

深紫外光傳輸用光纖(DUV)

目前固體激光器和氣體激光器研究的課題之一就是深紫外光領域(250nm)的激光器振蕩技術。在固體激光器領域,采用CLBO(CsLiB6O10)結晶的Nd:YAG激光器的四倍波(=266nm)、五倍波(=213nm);在氣體激光器領域,F2(=157nm),KY2(=148nm),Ar2 (=126nm),而采用ArF的環氧樹脂激光器的振高波長=193nm等。

在半導體基片表面處理,在生物化學領域中對DNA的分析測試和化驗、在醫療領域內對近視治療等應用領域中,深紫外光都得到了極其廣泛的應用。對能傳輸深紫外光的光纖開發工作也成為人所關注的重大技術課題。

從DUV光纖的損耗光譜化可以看出,在波長為=200nm時,傳輸損耗發生急聚變化,而在1240和1380nm處出現二個峰值,我們認為這是由OH的伸縮振動引起的吸收造成的。

相同的預制棒在拉絲過程中因拉絲條件不同,損耗光譜值也不同,DUV拉制過程中(當<220nm)拉絲速度為0.5m/分,爐溫為1780℃時,光纖損耗值最小,光使用波長為193nmArF激光源時,最小透過率約為60%/m。光纖的損耗是隨拉絲速度加快,爐溫升高而增加,在220nm波長處產生吸收增加,這種增加值是由E"中心引起的,屬拉絲工藝缺欠造在的。

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