1998年7月，IBM發布RS64-II，它具有專用32字節接口界面，提供獨享的4路集合關聯的(set associative)8MB L2高速緩存。PowerPC RS64 II 64位RISC微處理器(代號NorthStar)成為了Star系列處理器家族的第一位成員。
緊隨其后，IBM在10月立刻發布了成熟的64位Power3處理器。該處理器統一了Power2架構 (P2SC)和PowerPC架構，是針對技術應用而設計。與帶有專用的整數執行單元和加載/存儲執行單元的P2SC相比，Power3的整數性能有重大的改進，由每秒鐘6.4GB的內存子系統提供芯片特有的8個執行單元。
也是在這一年，IBM決定開始向IT信息服務提供商轉型。這為后來的PC業務出售事件埋下了伏筆。
在1999年銅導線技術成熟之后，這項技術立刻被整合進了PowerPC RS64 III 64位RISC微處理器(代號Pulsar)。業界普遍認為，正是這項技術使得處理器可以達到450MHz的主頻速度。2000年64位的Power3-II微處理器采用IBM高級的CMOS 7S工藝，把Power3處理器的鋁連接改進為銅連接，新的RS/6000 Model 44P 7044-270(375MHz) 使用了基于銅芯片的Power3-II處理器，對稱多處理器系統(SMP)最多可配有4個處理器，在2000年10月IBM將RS/6000改名為IBM eServer pSeries。
IBM pSeries 615
在2000年秋季，IBM增強了RS64 III設計，開始使用銅芯片和SOI絕緣硅技術，使時鐘頻率增加到600MHZ，就形成了RS64處理器的最新版本即RS64 IV(又被稱為Sstar)；在相同型號上緩存大小被增加到16MB，隨著RS64的發展，這種處理器的設計可以提供750MHz的時鐘頻率。2000年10月，IBM推出的pSeries 680服務器，該64位SMP服務器采用RS64 IV處理器，采用6-24路設計，最大支持96GB內存，系統中每個600MH處理器都有16MB L2高速緩存。
經過多年發展，Power架構技術廣泛應用在多個領域，它不僅出現在登陸火星的火星車上，還在激光打印機和汽車中有著出色的表現。1999年IBM接受了任天堂公司的合同，為新一代的Nintendo 64游戲機提供定制的處理器芯片，這一合作又為IBM和PowerPC處理器發現了一個新大陸。
2000年，IBM宣布將高速PowerPC 處理器與電視機頂盒（STB）組件一起整合到一個“單芯片系統”上，從而在系統性能、價格和設計等方面為機頂盒廠商帶來競爭優勢。該單芯片系統擁有眾多的先進應用，并能幫助三星等公司靈活應對不斷變化的客戶需求。
在其1998年-2001年共三年的服役期間，Power3實現了64位對稱處理器的重大突破，并被廣泛應用在太空探測到天氣預報方面的科技計算領域，而使用銅連接重新實現了Power3的Power3-II，則讓用戶嘗到了科技的甜頭，他們花相同的價格可以得到兩倍的處理性能。
